EJA系列壓力/差壓變送器

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介 
EJA系列壓力/差壓變送器是日本橫河電機株式會(huì )社九十年代中期推出的產(chǎn)品，采用真正的數字化傳感器—單晶硅諧振式傳感器，開(kāi)創(chuàng )了變送器的新時(shí)代，產(chǎn)品具有更高的精度、穩定性、可靠性，自推向市場(chǎng)，深受各界好評。為迎接現場(chǎng)總線(xiàn)時(shí)代的來(lái)臨，我們已推出經(jīng)基金會(huì )測試認證的符合FF 標準的現場(chǎng)總線(xiàn)變送器。

二、先進(jìn)的工作原理

圖1　硅諧振梁的結構

　　采用微電子加工技術(shù)（MEMS)在一個(gè)單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作 兩個(gè)形狀、尺寸、材質(zhì)**的Ｈ形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩 回路中作高頻振蕩（如圖1）。 單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時(shí)，將產(chǎn)生形變，導致中心諧振梁 因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加（如圖２）。 
兩頻率之差信號直接送到CPU進(jìn)行數據處理，然后 （１）經(jīng)D/A轉換成4-20mA輸出信號，通訊時(shí)疊加Brain或Hart數字信號； （２）直接輸出符合現場(chǎng)總線(xiàn)（Fieldbus Foundation TM）標準的數字信號。

圖1　硅諧振梁的結構

三、優(yōu)異的性能

靜壓影響忽略不計
當加有靜壓（工作壓力）時(shí)，兩形狀、尺寸、材質(zhì)**的諧振梁形變相同， 故頻率變化也*，故偏差自動(dòng)清除（公式和圖類(lèi)似溫度影響）。 
單向過(guò)壓特性?xún)?yōu)異
接液膜片與膜盒本體采用*的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數值時(shí)， 接液膜片能與本體*接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增 加，從而達到對傳感器的保護作用。（圖4）、（圖5）所示為ＥＪＡ過(guò)壓特性。

圖5　對于過(guò)壓的長(cháng)期穩定性

圖6　長(cháng)期穩定性

四、安裝靈活，使用方便
安裝靈活
可無(wú)需支架，直接安裝（如圖7）； 常規使用，無(wú)需三閥組（如圖8）。

圖7　無(wú)需支架直接安裝	圖8　無(wú)需三閥組安裝

　　組態(tài)靈活簡(jiǎn)便
可通過(guò)計算機或手操器對變送器組態(tài)，也可通過(guò)變送器上的量程設置按鈕和調零按鈕，進(jìn)行現場(chǎng)調整（如圖9）。

圖9　BT2000與EJA

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